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Effect of annealing on CoSi2 thin films prepared by magnetron sputtering
  • ISSN号:0921-5107
  • 期刊名称:MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MA
  • 时间:0
  • 作者或编辑:3448
  • 页码:2005,119(1): 61-64
  • 语言:英文
  • 相关项目:金属硅化物结构和功能应用的基础研究
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