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Simulation of temperature and gas density field distribution in diamond films growth on silicon wafe
  • ISSN号:0022-0248
  • 期刊名称:Journal of Crystal Growth
  • 时间:0
  • 页码:55-61
  • 相关项目:基于多层膜结构的陶瓷基金刚石复合涂层的制备与应用研究
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