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环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究
  • ISSN号:1004-924X
  • 期刊名称:《光学精密工程》
  • 时间:0
  • 分类:TQ171.65[化学工程—玻璃工业;化学工程—硅酸盐工业] O436.1[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理]
  • 作者机构:[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033, [2]中国科学院研究生院,北京100039
  • 相关基金:国家杰出青年基金资助项目(No.69925512).
中文摘要:

利用环形子孔径拼接干涉技术可以不需要补偿器、CGH等辅助元件就能够高分辨、低成本、高效地实现对大口径、大相对孔径非球面的检测。介绍了该技术的基本原理,并基于最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了合理的数学模型,同时对其进行了计算机模拟实验,拼接前后全孔径相位分布残差的PV值和RMS值分别为0.0079λ和0.0027λ,说明该拼接模型和算法是准确可行的,从而提供了除零位补偿外又一种定量测试非球面尤其是大口径非球面的途径。

英文摘要:

Annular subaperture stitching interferometry can test large-aperture, large relative aperture aspheric surfaces at high resolution, low cost and high efficiency without assistant parts. The basic principle of the stitching method was introduced, and the reasonable mathematical model and effective splicing algorithm were established based on least squares method and Zernike polynomial fitting. Meanwhile the computer simulation experiment was carried on, the PV and RMS of the full aperture phase distribution residual error are 0. 0079λ and 0. 0027λ ,respectively. The results show that this splicing model and algorithm are accurate and feasible, and it can provide another quantitive measurement for testing aspheric surfaces besides null compensation, especially for large aperture asphere.

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期刊论文 10
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期刊信息
  • 《光学精密工程》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国仪器仪表学会
  • 主编:曹健林
  • 地址:长春市东南湖大路3888号
  • 邮编:130033
  • 邮箱:gxjmgc@sina.com;gxjmgc@ciomp.ac.cn
  • 电话:0431-86176855 84613409传
  • 国际标准刊号:ISSN:1004-924X
  • 国内统一刊号:ISSN:22-1198/TH
  • 邮发代号:12-166
  • 获奖情况:
  • 三次获得“百种中国杰出学术期刊”,2006年获得中国科协择优支持基金,2007年获“吉林省新闻出版精品期刊奖”,2008年获“中国精品科技期刊”,2012年《光学精密工程》看在的3篇论文获得中国百...,第三届中国出版政府奖提名奖
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版)
  • 被引量:22699