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Studies on the residual stress of fluorine-doped SnO2 film deposited by chemical vapor deposition
ISSN号:0040-6090
期刊名称:Thin Solid Films
时间:0
页码:5691-5694
相关项目:Low-E玻璃的失效机理和表面演化研究
作者:
Yang, Jingkai|Zhao, Hongli|Chen, Qian|Liu, Shengbo|Sha, Hesong|Zhang, Fucheng|
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