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Studies on the residual stress of fluorine-doped SnO2 film deposited by chemical vapor deposition
  • ISSN号:0040-6090
  • 期刊名称:Thin Solid Films
  • 时间:0
  • 页码:5691-5694
  • 相关项目:Low-E玻璃的失效机理和表面演化研究
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