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The Role of H-plasma on Aluminum-induced Crystallization of Amorphous Silicon
  • ISSN号：0947-8396
  • 期刊名称：Applied Physics A-Materials Science & Processi
  • 时间：0
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  • 相关项目：等离子体辅助晶化多晶硅及其应用研究
作者： 李娟|
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