位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
The Mechanism of Hydrogen Plasma Passivation for Poly-Si Thin Film
  • 期刊名称：Chinese Physics B
  • 时间：2013
  • 页码：1-5
  • 相关项目：等离子体辅助晶化多晶硅及其应用研究
作者： 李娟|
同期刊论文项目
等离子体辅助晶化多晶硅及其应用研究
期刊论文 7 会议论文 4 专利 6
同项目期刊论文
The Investigation on the H-Plasma-Assisted Aluminum Induced Crystallization (HAIC) of Amorphous Sili
溶液法制备金属氧化物薄膜及其性质的研究
多晶硅薄膜氢等离子体钝化机理研究
The Role of H-plasma on Aluminum-induced Crystallization of Amorphous Silicon
多晶硅薄膜的氢等离子体钝化机理研究
氢等离子体辅助固相晶化多晶硅薄膜的初步研究