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The Effect of a TiN Interlayer on the Tribological Properties of Diamond-like Carbon Films Deposited
  • 期刊名称:IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE
  • 时间:0
  • 页码:3144-3148
  • 语言:英文
  • 相关项目:类碳薄膜组织结构对膜基结合力和耐磨性的影响机理研究
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