位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
Design and fabrication of a MEMS Lamb wave device based on ZnO thin film
  • ISSN号：1674-4926
  • 期刊名称：半导体学报
  • 时间：2011.4.4
  • 页码：79-84
  • 相关项目：基于PZT薄膜的微压电超声换能器研究
作者： 刘梦伟|李俊红|马军|汪承灏|
同期刊论文项目
基于PZT薄膜的微压电超声换能器研究
期刊论文 11 会议论文 2
同项目期刊论文
Sol-Gel法制备PZT粉体的工艺研究
基于PZT薄膜面内极化工作的低应力压电微传声器
Effect of Annealing Process on Properties of Pb (Zr0.52Ti0.48)O3 Thin Films Prepared by Sol-Gel Meth
Micromachined Ultrasonic Transducers Based on Lead Zirconate Titanate (PZT) Films
High Q, high frequency, high overtone bulk acoustic resonator with ZnO films
Influences of crystallization temperature and slurry concentration on stress of PZT thick film prepa
Design of MEMS Piezoelectric Vector Hydrophone
基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究
High Q, high frequency, high overtone bulk acoustic resonator with ZnO films
期刊信息
  • 《半导体学报：英文版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国电子学会 中国科学院半导体研究所
  • 主编：李树深
  • 地址：北京912信箱
  • 邮编：100083
  • 邮箱：cjs@semi.ac.cn
  • 电话：010-82304277
  • 国际标准刊号：ISSN：1674-4926
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5781/TN
  • 邮发代号:2-184
  • 获奖情况:
  • 90年获中科院优秀期刊二等奖,92年获国家科委、中共中央宣传部和国家新闻出版署...,97年国家科委、中共中央中宣传部和国家新出版署三等奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:7754