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Fabrication of micro/nano-structures using focused ion beam implantation and XeF2 gas-assisted etchi
  • ISSN号：0960-1317
  • 期刊名称：Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 时间：0
  • 页码：-
  • 相关项目：碳纳米管探针的制备及其结构优化的关键技术研究
作者： Xu, Z. W.|Fang, F. Z.|Fu, Y. Q.|Zhang, S. J.|Han, T.|Li, J. M.|
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