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The Enhancement of $Q$ -Factor of Planar Spiral Inductor With Low-Temperature Annealing
  • ISSN号:0018-9383
  • 期刊名称:IEEE Transactions on Electron Devices
  • 时间:0
  • 页码:931-936
  • 语言:英文
  • 相关项目:新型纳机电系统器件制作及机电耦合基础研究
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