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薄膜微区变形的微标记阵列检测方
  • 期刊名称：光子学报. 34(5):737-741. 2005,5
  • 时间：0
  • 相关项目：高量程微加速度计中关键力学检测技术的研究
作者： 魏成,李喜德,黄静波,施惠基,张泰
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