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Shape-controllable polymeric microlens array duplicated by electrostatic force deformed template
  • ISSN号:0091-3286
  • 期刊名称:Optical Engineering
  • 时间:2013.6
  • 页码:1-6
  • 相关项目:基于MEMS技术的微型拉曼光谱仪器的研制
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