位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
Shadow effect and its revisal in grid-enhanced plasma source ion implantation method
  • 期刊名称：Chin. Phys. Lett.
  • 时间：0
  • 作者或编辑：3448
  • 第一作者所属机构：中科院物理研究所
  • 页码：2004.21(6).1114
  • 语言：英文
  • 相关项目：管件内壁离子注入新技术的机理研究
作者： 张谷令|王久丽|刘元富|刘赤子|杨思泽|
同期刊论文项目
管件内壁离子注入新技术的机理研究
期刊论文 11 会议论文 6
同项目期刊论文
Review of Progress on the Study of Tubular Inner Surface Modification by Ion Implantation
Properties of TiN coating on 45# steel for inner surface modification by grid-enhanced plasma source
Review on the simulation methods of ion sheath dynamics in plasma source ion implantation
等离子体源离子注入离子鞘层及鞘层扩展动力学计算方法
Grid-shadow effect in grid-enhanced plasma source ion implantation
金属管件内壁栅极增强等离子体源离子注入的轴向特性研究
FTIR监测金刚石薄膜生长的研究