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Grid-shadow effect in grid-enhanced plasma source ion implantation
  • 期刊名称：Surf. Coat. Technol.
  • 时间：0
  • 作者或编辑：3448
  • 第一作者所属机构：中科院物理研究所
  • 页码：2005.192(1).101
  • 语言：英文
  • 相关项目：管件内壁离子注入新技术的机理研究
作者： 王久丽|张谷令|王友年|刘元富|刘赤子|杨思泽|
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