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Laser heterodyne interferometer for simultaneous measuring displacement and angle based on the Farad
  • ISSN号:1094-4087
  • 期刊名称:Optics Express
  • 时间:2014.10
  • 页码:2587-2598
  • 相关项目:基于激光合成波长干涉原理的波长测量方法研究
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