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The on?chip temperature compensation and temperature control research for the silicon micro?gyroscop
  • 期刊名称:MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INF
  • 时间:2014.7.25
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  • 相关项目:基于芯片级温控的硅微陀螺仪温度误差校正理论与试验研究
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