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A New Z-axis Resonant Micro-Accelerometer Based on Electrostatic Stiffness
  • ISSN号：0746-9462
  • 期刊名称：Sensors
  • 时间：2015.1.5
  • 页码：687-702
  • 相关项目：基于芯片级温控的硅微陀螺仪温度误差校正理论与试验研究
作者： Bo Yang|Xingjun Wang|Bo Dai|Xiaojun Liu|
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