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Design and Development of MEMS Capacitive Large-Scale Strain Sensors
  • ISSN号:1058-4587
  • 期刊名称:Integrated Ferroelectrics
  • 时间:2013.1.1
  • 页码:123-130
  • 相关项目:基于二维有机无机纳米复合薄膜的OTFT阵列技术研究
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