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Ion beam machining error control and correction for small scale optics
  • ISSN号：0003-6935
  • 期刊名称：Applied Optics
  • 时间：2011.9.20
  • 页码：5221-5227
  • 相关项目：亚纳米面形精度离子束抛光理论与方法研究
作者： Xie, Xuhui|Zhou, Lin|Dai, Yifan|Li, Shengyi|
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