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High-efficiency multilayer-coated ion-beam-etched blazed grating in the extreme-ultraviolet waveleng
  • ISSN号：0146-9592
  • 期刊名称：Optics Letters
  • 时间：0
  • 页码：485-487
  • 语言：英文
  • 相关项目：极紫外多层膜闪耀光栅制备方法研究
作者： 林慧|周洪军|张立超|霍同林|金春水|
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