中文摘要：

多层膜光栅是一种新型的复合光学元件，兼具正入射、高衍射效率和高光谱分辨率的优点，在EUV/SXR波段具有广阔的应用前景。目前在国外，多层膜光栅已经进入了以EUV/SXR天文学为核心的实用化阶段，而国内尚缺乏深入系统的研究。因此，本项以突破制备实用化EUV/SXR多层膜闪耀光栅所需的关键技术为目标，力争为多层膜闪耀光栅在EUV/SXR波段的实用化奠定学术与技术基础。本研究进行的主要研究及其成果如下（1）走出了一条区别于国外的多层膜闪耀光栅制作技术路线，使得在不采用复杂设备与技术手段的前提下，能够制备出与国外衍射效率相当甚至略高的多层膜闪耀光栅，这意味着国内从此有了自主研发高质量多层膜闪耀光栅的基础；（2）从多层膜闪耀光栅在实际应用环境中的性能问题出发，开展了多层膜的热稳定性和粒子辐照条件下的性能研究，为多层膜闪耀光栅满足实用化要求打下了基础；（3）在国际上首次提出并实现了"宽带多层膜光栅"这一结构，解决了传统多层膜光栅的带宽瓶颈问题，使多层膜光栅能在够正入射情形下同时满足宽波长范围、高衍射效率和高光谱分辨率的要求，为EUV/SXR波段的新型光学仪器开发提供了有力的支撑。