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Research Reviews and Prospects of Micro Transmission Mechanism
  • ISSN号：1058-4587
  • 期刊名称：Integrated Ferroelectrics
  • 时间：2013.1.1
  • 页码：67-75
  • 相关项目：MEMS典型机构的传动特性与失效机理分析
作者： Shen, Xuejin|Zhou, Ling|Chen, Xiangyu|Wang, Zhenlu|Hu, Yi|
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