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微光电子集成芯片及其应用
  • ISSN号：1681-5289
  • 期刊名称：《中国集成电路》
  • 时间：0
  • 分类：TN491[电子电信—微电子学与固体电子学]
  • 作者机构：中国科学院半导体研究所北京集成光电子学国家重点联合实验室
  • 相关基金：国家863计划资助项目(2001AA122032,2001AA312080);; 国家自然科学基金(69896260)
作者： 陈弘达, 毛陆虹, 邓晖, 唐君, 杜云, 吴荣汉
中文摘要：

一、引言目前,半导体科学技术在低维结构物理、微腔物理、光学量子器件及电学量子器件、超高速电子器件与集成电路、微光电子集成芯片、微光机电系统(MOEMS)器件等方面的研究与发展,其特征尺寸都已进入深亚微米、十纳米以至纳米量级。所研究对象的低维化和结构的微细化不仅是其性能改善的要求,更重要的是将可能导致一系列物理效应的发现

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期刊信息
  • 《中国集成电路》
  • 主管单位:中华人民共和国工业和信息化部
  • 主办单位:中国半导体行业协会
  • 主编：王正华 魏少军
  • 地址：北京市顺义区仁和镇顺和花园一区15号楼二单元501室
  • 邮编：101300
  • 邮箱：Wangzh@cidc.com.cn
  • 电话：010-64372248
  • 国际标准刊号：ISSN：1681-5289
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5209/TN
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  • 国内外数据库收录:
  • 被引量:1517