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用纳米碳制备光子晶体
  • ISSN号：1001-9014
  • 期刊名称：《红外与毫米波学报》
  • 时间：0
  • 分类：TN2[电子电信—物理电子学]
  • 相关基金：国家自然科学基金(批准号69896260,60077022)资助项目和集成光电子国家重点实验室开放课题部分资助项目
作者： 栾峰, 章蓓, 徐军, 张会珍
关键词： 电子束辅助沉积, 微结构, 二维光子晶体, 纳米碳.
中文摘要：

利用电子束诱导沉积纳米碳柱方法,在一台由KYKY1010B型扫描电子显微镜( SEM)改装的电子束曝光系统中发展了一种无需光刻胶的亚微米图形化技术,微型碳柱的高 度和直径可通过改变聚焦电子束参数加以控制.通过控制电子束辐照位置和对样品台相对漂 移的修正,在镀金的半导体表面8μm×8μm范围内分别得到由纳米碳柱形成的光子晶体点阵 ,包括正方、六方对称和八重准对称等点阵结构,为进一步开展半导体光子晶体的实验研究打下了良好的基础.

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期刊信息
  • 《红外与毫米波学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院上海技术物理研究所 中国光学学会
  • 主编：褚君浩
  • 地址：上海市玉田路500号
  • 邮编：200083
  • 邮箱：jimw@mail.sitp.ac.cn
  • 电话：021-25051553
  • 国际标准刊号：ISSN：1001-9014
  • 国内统一刊号：ISSN：31-1577/TN
  • 邮发代号:4-335
  • 获奖情况:
  • 1992、1996年获全国优秀学术期刊一等奖,1999年首届国家期刊奖
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,美国科学引文索引（扩展库）,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,瑞典开放获取期刊指南,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:8778