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Micromachined inertial measurement unit fabricated by a SOI process with selective roughening under
  • ISSN号：1750-0443
  • 期刊名称：Micro & Nano Letters
  • 时间：0
  • 页码：486-489
  • 相关项目：基于孔径连续可调“微网筛”结构的细胞分选方法
作者： Honglong Chang|Jianbing Xie|Qianyan Fu|Qiang Shen|Weizheng Yuan|
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