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Nanopatterning on silicon surface using atomic force microscopy with diamond-like carbon (DLC)-coate
  • ISSN号:1931-7573
  • 期刊名称:Nanoscale Research Letters
  • 时间:0
  • 页码:20-23
  • 语言:中文
  • 相关项目:光诱导半导体纳米结构的输运特性研究
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