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Pull-In Analysis of the Flat Circular CMUT Cell Featuring Sealed CavityFeaturing Sealed Cavity
  • ISSN号:1024-123X
  • 期刊名称:Mathematical Problems in Engineering
  • 时间:2015.8.19
  • 页码:-
  • 相关项目:岛型振动膜电容式微超声传感器研究
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