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Tailoring the mechanical and tribological properties of sputtered boron carbide films via the B1 ? x
  • ISSN号:0257-8972
  • 期刊名称:Surface and Coatings Technology
  • 时间:2015.4.15
  • 页码:2-7
  • 相关项目:外延立方氮化硼薄膜的掺杂及高温半导体特性研究
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