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A dual-curable transfer layer for adhesion enhancement of a multilayer UV-curable nanoimprint resist
ISSN号:0947-8396
期刊名称:Applied Physics A-Materials Science & Processi
时间:2012.7.7
页码:1-6
相关项目:新型复合纳米压印技术与应用
作者:
Xia, Dingfu|Ye, Liang|Guo, Xu|Cui, Yushuang|Zhang, Jizong|Yuan, Changsheng|Ge, Haixiong|Wu, Wei|Chen, Yanfeng|
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