位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
UV surface exposure for low temperature hydrophilic silicon direct bonding
  • 期刊名称：Microsyst Technol
  • 时间：0
  • 页码：317-321
  • 语言：英文
  • 相关项目：具有气体检测功能的仿蝴蝶翅膀三维微纳结构制备技术研究
作者： 史铁林|汤自荣|林晓辉|廖广兰|
同期刊论文项目
具有气体检测功能的仿蝴蝶翅膀三维微纳结构制备技术研究
期刊论文 26 会议论文 6 专利 8
同项目期刊论文
仿Morpho蝴蝶鳞翅微纳结构的光学特性研究
基于硅模具的Zr基非晶合金微成形工艺研究
Molecular dynamic simulations of nanoindentation in aluminum thin film on silicon substrate
Finite element simulation and experimental investigation of forming micro-gear with Zr–Cu–Ni–Al bulk
Effect of surface characteristic on room-temperature silicon direct bonding
Dynamics of Contact Wave in Silicon Wafer Direct Bonding
Combined AFM Nano-Machining and Reactive Ion Etching to Fabricate High Aspect Ratio Structures
Superplastic micro-forming of Zr65Cu17.5Ni10Al7.5 bulk metallic glass with silicon mold using hot em
基于低温直接键合的血细胞计数芯片结构制备
基于GHSOM 网络的故障识别
圆片直接键合界面表面能测试研究
基于UV光照的圆片直接键合技术
基于GHSOM网络的故障识别