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非平衡磁控溅射二维磁场分布模拟计算
  • 期刊名称：真空科学与技术学报
  • 时间：0
  • 页码：256-269
  • 语言：中文
  • 相关项目：多元透明导电氧化物薄膜光电性能的机理研究
作者： 刘悦|周艳文|赵卓|
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