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可延展柔性无机微纳电子器件原理与研究进展
  • ISSN号:1000-3290
  • 期刊名称:《物理学报》
  • 时间:0
  • 分类:TN4[电子电信—微电子学与固体电子学]
  • 作者机构:[1]清华大学航天航空学院,应用力学教育部重点实验室,北京100084, [2]清华大学先进力学与材料中心,北京100084, [3]电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都610054, [4]美国迈阿密大学机械与航空工程系,迈阿密佛罗里达33146, [5]中科院半导体研究所,集成光电子学国家重点联合实验室,北京100083, [6]美国西北大学机械工程系,埃文斯顿 伊利诺伊60208
  • 相关基金:国家自然科学基金(批准号:11320101001,10820101048,11222220,10902059,11372272); 清华信息科学与技术国家实验室(筹)资助的课题
中文摘要:

为适应下一代电子产品便携性、形状可变性、人体适用性等方面的进一步需求,近年来基于无机电子材料的可延展柔性电子技术成为全球电子产业界与学术界关注的新焦点.与有机柔性电子学器件不同,可延展柔性无机电子器件指的是建立在柔性基底上的无机电子组件.这种具有柔性的集成电路利用力学设计提供大变形,在保持无机脆性电子器件高性能和高可靠性的同时,具备形状可弯曲、可伸缩等柔性性能.本文综述了近年来无机柔性电子器件的进展,包括力学设计原理、基于界面黏附的转印集成方法以及柔性大变形下的失效机理等,并展望了未来的应用和发展.

英文摘要:

In order to meet the further demand of the next-generation electronic devices in the transplantable,lightweight and portable performances,fexible and stretchable inorganic electronics attract much more attention in both indus-try and academia in recent years.Compared to organic electronics,stretchable and fexible inorganic electronics are fabricated with the integrated structures of inorganic components on complaint substrates,which own the stretcha-bility and fexibility via mechanical design.Thus stretchable and fexible inorganic electronics have the high electron mobility and excellent conformability to non-planar environment subjected to large deformation.This paper reviews the recent progress on principle,design based on mechanics,integration based on transfer printing and the reliability analysis of stretchable and fexible inorganic electronics.Finally,the prospective is also described for future application in bioengineering and medicine.

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期刊信息
  • 《物理学报》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国物理学会 中国科学院物理研究所
  • 主编:欧阳钟灿
  • 地址:北京603信箱(中国科学院物理研究所)
  • 邮编:100190
  • 邮箱:apsoffice@iphy.ac.cn
  • 电话:010-82649026
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-3290
  • 国内统一刊号:ISSN:11-1958/O4
  • 邮发代号:2-425
  • 获奖情况:
  • 1999年首届国家期刊奖,2000年中科院优秀期刊特等奖,2001年科技期刊最高方阵队双高期刊居中国期刊第12位
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国科学引文索引(扩展库),英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:49876