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Electrostatic cantilever resonators under a double-sided pull-pull drive scheme
  • ISSN号:0960-1317
  • 期刊名称:Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 时间:2014.3
  • 页码:-
  • 相关项目:基于原位生长与纳米操纵复合的碳纳米管互联接触机理与调控方法
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