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Electrostatic cantilever resonators under a double-sided pull-pull drive scheme
ISSN号:0960-1317
期刊名称:Journal of Micromechanics and Microengineering
时间:2014.3
页码:-
相关项目:基于原位生长与纳米操纵复合的碳纳米管互联接触机理与调控方法
作者:
Wu, Xiaoming|Wang, Pengbo|Pu, Juan|Lin, Liwei|
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