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Sub-nanometer periodic nonlinearity error in absolute distance interferometers
  • ISSN号:0034-6748
  • 期刊名称:Review of Scientific Instruments
  • 时间:2015.5
  • 页码:-
  • 相关项目:基于高稳定可调谐测尺的相位式激光测距方法与相关技术基础研究
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