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Bottom-up nanofabrication through catalyzed vapor phase HF etching of SiO2
  • ISSN号：0957-4484
  • 期刊名称：Nanotechnology
  • 时间：2014.12.4
  • 页码：015301-
  • 相关项目：DNA分子催化刻蚀氧化硅的研究
作者： Shichao Zhao|Haitao Liu|
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