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Three-dimensional fuzzy influence analysis of fitting algorithms on integrated chip topographic mode
  • ISSN号:1738-494X
  • 期刊名称:Journal of Mechanical Science and Technology
  • 时间:2012.10
  • 页码:3177-3191
  • 相关项目:超高速研磨多相微尺度湍流应力机理与边界层激波破坏研究
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