位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
Efficient source mask optimization using multiple source representation
  • ISSN号：1932-5150
  • 期刊名称：Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
  • 时间：2014.10.2
  • 页码：043001-1-043001-9
  • 相关项目：提高小波变换条纹图像处理技术精度和速度的方法
作者： Chaoxing Yang|Sikun Li|Xiangzhao Wang|
同期刊论文项目
提高小波变换条纹图像处理技术精度和速度的方法
期刊论文 26 会议论文 3 获奖 1
同项目期刊论文
基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法
High-order aberration measurement technique based on a quadratic Zernike model with optimized source
Adaptive denoising method to improve aberration measurement performance
Piston error calibration of zonal reconstruction for a segmented wavefront in lateral shearing inter
Aberration measurement based on principal component analysis of aerial images of optimizedmarks
基于评价函数的二维小波变换轮廓术小波脊提取方法
光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析
Ronchi 相移剪切干涉仪及其相位提取误差分析
In situ aberration measurement method using a phase-shift ring mask
Ronchi剪切干涉光刻投影物镜波像差检测技术研究
Radial period extraction method employing frequency measurment for quantitative collimation testing
Three-dimensional information security combined fringe projection with double random phase encoding
Wavefront reconstruction for lateral shearing interferometry based on differencepolynomial fitting
Analysis of lateral shearing interferometry without self-imaging limitations
一种提高偏振光斯托克斯参量测量精度的方法
二维快速傅里叶变换干涉图相位提取误差分析
基于并行小波变换的快速三维面形测量技术
高精度平面子孔径拼接算法研究
一种降低平面子孔径拼接累积误差的方法
基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术
基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测