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冷阴极反磁控的混合模型
  • ISSN号：0734-2101
  • 期刊名称：Journal of Vacuum Science & Technology A
  • 时间：0
  • 页码：281-284
  • 语言：英文
  • 相关项目：无涌流自动过分相关键技术的研究
作者： Mao, Huiyong,|Wang, Yi|
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