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A thick TiN/TiCN multilayer film by DC magnetron sputtering
  • ISSN号:0257-8972
  • 期刊名称:Surface and Coatings Technology
  • 时间:0
  • 页码:110-116
  • 相关项目:固体-油脂复合润滑薄膜在空间环境中的润滑失效与延寿
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