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Microstructure and properties of nc-TiC/a-C:H films deposited by radio frequency reactive sputtering
  • ISSN号:0267-0836
  • 期刊名称:MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY
  • 时间:0
  • 页码:1669-1673
  • 相关项目:固体-油脂复合润滑薄膜在空间环境中的润滑失效与延寿
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