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Piezoelectric micromachined ultrasonic transducer with a dome-shaped single layer structure
  • ISSN号：0255-5476
  • 期刊名称：Materials Science Forum
  • 时间：0
  • 页码：1131-1134
  • 相关项目：基于超薄单晶的医用压电式微加工超声换能器pMUT的研究
作者： J. Peng*, C. Chao and H. Tang|
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