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Piezoelectric micromachined ultrasonic transducer based on dome-shaped piezoelectric single layer
  • ISSN号：0946-7076
  • 期刊名称：Microsystem Technologies
  • 时间：0
  • 页码：1771-1775
  • 相关项目：基于超薄单晶的医用压电式微加工超声换能器pMUT的研究
作者： Peng, J.|Chao, C.|Tang, H.|
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