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Influence of ion species ratio on grid-enhanced plasma source ion implantation
  • 期刊名称：Chin. Phys
  • 时间：0
  • 作者或编辑：3448
  • 第一作者所属机构：中国科学院物理研究所
  • 页码：2004.13(01).65
  • 语言：英文
  • 相关项目：等离子体离子注入材料内表面改性和制膜
作者： 王久丽|张谷令|刘赤子|杨思泽等|
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