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Microstructure-Dependent Conformal Atomic Layer Deposition on 3D Nanotopography
  • ISSN号:0743-7463
  • 期刊名称:Langmuir
  • 时间:2012.11.13
  • 页码:15809-15815
  • 相关项目:层状电磁复合材料与结构的动力学特性及其调控机理
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