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Metal electrode influence on the wet selective etching of GaAs/AlGaAs
  • 期刊名称：J. Vac. Sci. Technol. B
  • 时间：0
  • 页码：041208-1-041208-4
  • 语言：英文
  • 相关项目：GaAs基长波长高功率探测器及动态空间电荷效应制约研究
作者： 韩勤|
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