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A novel MEMS electromagnetic actuator with large displacement
  • ISSN号:0924-4247
  • 期刊名称:Sensors and Actuators A: Physical
  • 时间:2015.1.1
  • 页码:22-28
  • 相关项目:集成微流道的微谐振梁生物传感器及其在肿瘤标志物检测中的应用
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