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微波铁氧体器件薄膜的制备及性能研究
  • ISSN号：1005-6122
  • 期刊名称：《微波学报》
  • 时间：0
  • 分类：TN-55[电子电信]
  • 作者机构：[1]杭州电子科技大学新型电子器件与应用研究所
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目(60601022,60671024);浙江省自然科学基金资助项目(Y107255)
作者： 杨已青[1], 郑梁[1], 武军[1], 刘建[1], 秦会斌[1], 胡冀[1], 徐军明[1]
关键词： 铁氧体薄膜, 磁控溅射, 矫顽力, ferrite thin films, magnetron sputtering, coercivity
中文摘要：

该文采用RF磁控溅射工艺制备了射频薄膜电感用的铁氧体薄膜。为了降低铁氧体薄膜在高频下的涡流损耗、剩余损耗等,通过对铁氧体材料的磁特性分析,研究了不同的温度、成分掺杂对铁氧体磁性能的影响,获得了矫顽力为5.619 6Guss的铁氧体薄膜,并采用SEM、XRD对铁氧体薄膜表面结构进行了表征,采用VSM对薄膜磁性能进行了测试。

英文摘要：

该文采用RF磁控溅射工艺制备了射频薄膜电感用的铁氧体薄膜。为了降低铁氧体薄膜在高频下的涡流损耗、剩余损耗等,通过对铁氧体材料的磁特性分析,研究了不同的温度、成分掺杂对铁氧体磁性能的影响,获得了矫顽力为5.619 6Guss的铁氧体薄膜,并采用SEM、XRD对铁氧体薄膜表面结构进行了表征,采用VSM对薄膜磁性能进行了测试。

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期刊信息
  • 《微波学报》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国电子学会
  • 主编：周志鹏
  • 地址：南京1313信箱110分箱
  • 邮编：210013
  • 邮箱：njmicrowave@126.com
  • 电话：025-51821076
  • 国际标准刊号：ISSN：1005-6122
  • 国内统一刊号：ISSN：32-1493/TN
  • 邮发代号:28-328
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:6066