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Subwavelength interference lithography based on a unidirectional surface plasmon coupler
  • ISSN号：0091-3286
  • 期刊名称：Optical Engineering
  • 时间：2013.8
  • 页码：-
  • 相关项目：亚波长金属波导结构表面等离子体超分辨光刻研究
作者： Yang, Xuefeng|Zhang, Shuxia|Zhang, Dao Hua|Wang, Yueke|Wang, Jian|
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