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谐振式微机械惯性传感器
  • ISSN号：1002－6061
  • 期刊名称：计测技术,Vol.25,No2,1-4；2005
  • 时间：0
  • 作者或编辑：3448
  • 第一作者所属机构：北京航空航天大学
  • 语言：中文
  • 相关项目：谐振式硅微结构压力传感器优化设计与闭环系统实现
作者： 樊尚春|肖志敏|张庆荣|
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