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谐振式硅微结构压力传感器优化设计与闭环系统实现
  • 项目名称：谐振式硅微结构压力传感器优化设计与闭环系统实现
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：50275009
  • 申请代码：E051103
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2003-01-01-2005-12-01
  • 项目负责人：樊尚春
  • 负责人职称：教授
  • 依托单位：北京航空航天大学
  • 批准年度：2002
中文摘要：

以电阻激励、压阻拾振的谐振式硅微结构压力传感器为背景，实现硅微传感器在全量程内稳定可靠地以闭环方式工作，保证传感器性能，优化设计微传感器的整体结构参数激励、拾振电阻的设置与参数以及自激电路的结构开式；针对硅微敏感器实际样性实现微传感器闭环样机。研究工作将突破国外在该技术领域上对我国的封锁，增强独立研制微传感器的能力。

中文主题词： 微传感器；谐振式传感器；压力传感器；闭环系统
结论摘要：

英文主题词micro sensor; resonant sensor; pressure sensor; closed loop system

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
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期刊论文
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